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SECS (SEMI Equipment Communications Standard) 반도체 제조공정에 이용되는 장비의 사용을 목적으로 하는 컴퓨터간의 통신프로토콜로 메세지 전송을 위한 SECS-I, HSMS와 메세지 내용을 규정한 SECS-II로 구성된다. 1. SECS-I SEMI E4-0699 (SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER) 1.1 개요. "국제 표준의 하위 집합을 사용하는 포인트 투 포인트 통신을 정의" - 시작(start) 1비트와 정지(stop) 1비트를 사용하여 직렬로 전송되는 8비트 바이트로 구성된 통신규격 - 통신수단은 RS-232, 통신은 양방향 및 비동기식이지만 한번에 한 방향으로만 흐릅니다. - 방향은 특수 문자..